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        1. 上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司

          PRODUCT DISPLAY

          當(dāng)前位置:上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司>>管式爐>>PECVD系統(tǒng)>> OTF-1500X-Ⅱ-4CV-PE-SL三溫區(qū)1500℃PECVD系統(tǒng)

          三溫區(qū)1500℃PECVD系統(tǒng)

          參  考  價(jià):面議
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

          產(chǎn)品型號(hào):OTF-1500X-Ⅱ-4CV-PE-SL

          品       牌:其他品牌

          廠商性質(zhì):代理商

          所  在  地:上海市

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          更新時(shí)間:2024-08-19 14:07:01瀏覽次數(shù):2214次

          聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 化工儀器網(wǎng)
          產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,電子
          基本參數(shù) 最高工作溫度1500℃(<30min);連續(xù)使用溫度1400℃
          OTF-1500X-III-4CV-PE-SL是一款三溫區(qū)1500℃的PECVD管式爐系統(tǒng),該設(shè)備由射頻電源、1500℃三溫區(qū)管式爐、多通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成。此款PECVD系統(tǒng)可廣泛應(yīng)用于生長(zhǎng)納米線、石墨烯及薄膜材料領(lǐng)域。

          產(chǎn)品特點(diǎn):

          帶有石英觀察窗口的不銹鋼真空密封法蘭,便于觀察等離子發(fā)光(圖1);

          射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng),從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度;

          四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可以對(duì)氣體的輸送進(jìn)行精確的調(diào)控;

          此款設(shè)備可安裝控制模塊,將溫度設(shè)置和溫度曲線導(dǎo)入到電腦(圖2、3);

          此款設(shè)備可選配控溫精度為±0.1℃的歐陸儀表(圖4)。

          image.pngimage.pngimage.pngimage.png 

          基本參數(shù):

          最高工作溫度1500℃<30min);連續(xù)使用溫度1400℃;

          三個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),控溫精度:±1℃,帶有超溫和斷偶保護(hù);

          •·輸入電源: 208-240V,AC,單相;最大功率:6.6 KW;

          內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的1760度高溫氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備加熱效率及反射率,同時(shí)延長(zhǎng)儀器的使用壽命。

          注意:此設(shè)備不標(biāo)配爐管。購(gòu)買前請(qǐng)與我們銷售確定爐管相關(guān)事宜。

           

          射頻電源:

          image.png 

          真空系統(tǒng):

          •·采用TRP-12的雙旋真空泵;

          • KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

          真空度可達(dá)10-2Torr。

          供氣系統(tǒng)(可選):

          客戶可選購(gòu)四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%;

          流量范圍:

          image.png 

          電壓:208-240VAC, 50/60Hz;

          氣體進(jìn)出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

          不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出;

          • PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。

          產(chǎn)品尺寸和重量:

          爐體尺寸: 550mm L'380mm W'520mm H

          爐體下端移動(dòng)柜:1800mm L'600mm W'600mm H

          凈重:100 kg

          運(yùn)輸重量:550 kg

          承諾:

          一年保質(zhì)期,終身維護(hù),不包括爐管,硅膠密封圈和加熱元件


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